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OD(mm): 55x55x10, 75x55x15, 85x85x12, 150x150x20
GRID：5510/3×3㎜, 7515/4×2.5㎜, 8512/6×6㎜, 15020/8×8㎜

 

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장기간 스핀드라이어에 사용하여 캐리어 하부가 벌어졌을때

상기 지그를 장착하면 웨이퍼가 밑으로 처짐현상을 막을수 있다.

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